X熒光光譜儀(RoHS檢測(cè)儀器)由激發(fā)源(X射線管)、高壓電源、探測(cè)系統(tǒng)構(gòu)成。X射線管產(chǎn)生入射X射線(一次X射線),激發(fā)被測(cè)樣品,產(chǎn)生X熒光(二次X射線),探測(cè)器對(duì)X熒光進(jìn)行檢測(cè)。
工作原理
X光管發(fā)射的X射線,經(jīng)過(guò)濾光片后,X射線的背景射線被濾光片吸收而減弱,然后經(jīng)準(zhǔn)直器變成平行光束,照射在樣品上.樣品受到激發(fā),隨即產(chǎn)生含有被測(cè)元素的特征X射線熒光的復(fù)合光束.再經(jīng)過(guò)準(zhǔn)直器的準(zhǔn)直進(jìn)入半導(dǎo)體探測(cè)器,探測(cè)器本身具有能量分辨能力,可以甄別樣品所有發(fā)射的不同能量特征的X射線熒光,探測(cè)器輸出的信號(hào)經(jīng)放大器的放大后進(jìn)入運(yùn)算裝置,由于探測(cè)器輸出的信號(hào)與入射的X射線熒光的能力成正比,因此可以得到定性、定量分析的能量譜圖。
X射線熒光光譜儀有兩種基本類型:
波長(zhǎng)色散型(WD-XRF)和能量色散型(ED-XRF)
波長(zhǎng)色散型(WD-XRF)
元素的原子受到高能輻射激發(fā)而引起內(nèi)層電子的躍遷,同時(shí)發(fā)射出具有一定特殊性波長(zhǎng)的X射線,根據(jù)莫斯萊定律,熒光X射線的波長(zhǎng)λ與元素的原子序數(shù)Z有關(guān),其數(shù)學(xué)關(guān)系如下:
λ=K(Z? s)?2
式中K和S是常數(shù)。
能量色散型(ED-XRF)
元素的原子受到高能輻射激發(fā)而引起內(nèi)層電子的躍遷,產(chǎn)生能量差
X ray
△E= E1–E0=Kα
因此,只要測(cè)出熒光X射線的波長(zhǎng)或者能量,就可以知道元素的種類,這就是熒光X射線定性分析的基礎(chǔ)。此外,熒光X射線的強(qiáng)度與相應(yīng)元素的含量有一定的關(guān)系,據(jù)此,可以進(jìn)行元素定量分析。